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超纯水机在集成电路制造中的应用

发表时间:2020-01-21 15:23:33

   在大规模集成电路制造中,每一阶段结束后,都要用水冲洗。在进行微米级的微细加工时,必须绝对避免同会使半导体性能变坏的杂质接触,还要防止杂质进入气路导管。为了达到这一目的,用于冲洗的水要经过超纯水机严格提纯制备。

超纯水机在集成电路制造中的应用

  在生产大规模集成电路时要求的超纯水无法从自然获得,必须通过超纯水机或其他方式进行制备。超纯水的精炼分为一次纯水处理和二次纯水处理。一般来说,通过超纯水机将向各车间供应的纯水集中处理是一次纯水处理,各车间各自进行的处理是二次纯水处理。

  为了保证水质完全符合要求,在使用现场还要再次进行精炼,即进行超纯水机二次纯水处理。二次纯水处理设备就安装在制造半导体器件的超净房间里,或放在它的附近。二次纯水处理所需要的超纯水机中包括有紫外线杀菌装置,非再生型盒式离子交换装置、微过滤器和超级过滤的薄膜过滤器等,经过一系列严格制备所得到的超纯水,能够符合集成电路制造生产中用水要求。

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